– برای اولین بار نظریه نانوتکنولوژی مولکولی توسط ریچارد فاینمن در سال 1959 مطرح شد
عنوان سخنرانی وی این بود «فضای زیادی در سطوح پایین وجود داردو مسائل موجود در شیمی و زیست شناسی برای ما حل شده هستند به شرط آنکه بدانیم در سطح اتمی چه می توانیم انجام دهیم .»
- 1974 برای اولین بار واژه فناوری نانو توسط نوریو تانیگوچی بر زبانها جاری شد
- 1980IBM دستگاهی اختراع کرد که به کمک آن می‌توان اتم‌ها را تک تک جا‌به‌جا کند.
- 1985 کشف ساختار جدیدی از کربن C60
- 1990 شرکت IBM توانایی کنترل نحوه قرارگیری اتم‌ها را نمایش گذاشت
- 1991 کشف نانو لوله‌های کربن
- 1993 تولید اولین نقاط کوانتومی با کیفیت بالا
- 1997 ساخت اولین نانو ترانزیستور
- 2000 ساخت اولین موتورDNA
- 2001 ساخت یک مدل آزمایشگاهی سلول سوخت با استفاده از نانو لوله
- 2002به بعد لباسهای ضد لک و نانو سلولهای خورشیدی
